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2012年10月 1日 (月)

予冷

IVC、OVCとも10-6Torr台前半で正常だったので、液体窒素で予冷を行った。窒素を導入後、STMの温度が200K程度で、処理室の真空は10-11Torr台に到達した。

明日、ヘリウムを汲む予定。

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