« IrTe2#4 その2 | トップページ | ベーキング、EBヒーター作製 »

2012年10月31日 (水)

トラブルシューティング

チャンバーを開け、昨日落としてしまった輻射よけのフタを取り出し、取り付け取り外しテストを行ったが、特に異常は見られず安心した。

STMの粗動機構の動きが悪くなっている兆候は見られていなかったので、クリーニングは行わなかった。室温大気中での動きは、前回のメンテナンス直後と変わりないので、大丈夫であると思われる。この機会に、Fuさんが新しい蒸着源を組み立て、処理室に取り付けた。

チャンバーをTMPで排気し、リークテストを行ったところ、取り外した垂直方向の長いトランスファーロッドの根本がリークしていた。増し締めでリークは止まることは止まったが、相当強く締め付ける必要があった。

リボンヒーターをトランスファーロッドその他に巻き、ベーキングを開始した。明後日にベーキングをやめ、週末に再クールダウンしたい。

« IrTe2#4 その2 | トップページ | ベーキング、EBヒーター作製 »

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/567900/56015128

この記事へのトラックバック一覧です: トラブルシューティング:

« IrTe2#4 その2 | トップページ | ベーキング、EBヒーター作製 »