« ベーキング終了 | トップページ | 予冷 »

2012年9月30日 (日)

デュワーセット

処理室は2×10-10Torr程度になっていて、正常である。IVCの排気に使っている排気セットのRPとTMPの間の熱電対真空計は、いつも10-3Torrに到達するのに、今回10-2Torrをようやく切る程度で止まっていた。IVCの真空は3×10-6Torr程度で悪くなく、リークディテクタでもリークは発見できなかった。真空計の問題かもしれない。

とりあえず、IVCには異常がなさそうなので、デュワーをセットした。今日までデュワーの真空断熱部は50Lの小さなTMPで排気していたが、150LのTMPに切り替えた。明日、予冷の予定。

« ベーキング終了 | トップページ | 予冷 »

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/567900/55780797

この記事へのトラックバック一覧です: デュワーセット:

« ベーキング終了 | トップページ | 予冷 »