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2012年9月26日 (水)

メンテナンス

物理学会終了後、しばらく私のマシンタイムである。Fuさんの使用中、STMに探針や試料をセットするときのトランスファーロッドの動きが悪くなっていたこと、低温部にネジを一個落としたこと、FIM/EBステージの絶縁が悪くなったこと、からメンテナンスすることにした。

通常のメンテナンスに加え、繰り返し起こるFIMの絶縁不良を根本解決するため、これまで共通にしていたFIMとEBステージの高圧ラインを分けることにした。FIMは典型的には3kV以上の電圧を掛けるので非常に良い絶縁が必要であるが、EBステージ近傍では加熱による蒸着等で多少絶縁が悪くなってしまうことが多かった。この場合でも、EBでは1~2kV程度の電圧しか掛けないので大丈夫だったので、配線を分けることで根本解決になると期待される。

処理室のフランジに予備ポートが無いので、ICF34のティーで今までのSHVに加えて、EB専用のMHVコネクタを取り付けた。ティーの中の配線取り回しに多いに苦労したが、何とかインストールできた。

配線やビーズ等を全て新しいものにしたせいか、真空の立ち上がりが非常に遅い。昨夜からTMPで排気を初めて、今朝何とか10-7Torr台に到達した。リークディテクタではリークは無いので、デガスが多いと判断せざるを得ない。長期間になることを覚悟して、ベーキングを開始した。

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