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2012年7月15日 (日)

Au(111)

Au(111)の見え方と、これまでの経験からどう見えるべきかわかっているBi2212の見え方を比較するために、Au(111)の準備を行った。

FIM処理した探針をSTMにセットしたのち、Au(111)のスパッタ、アニールを行った。チャンバーを開けた時に、Arのバリアブルリークバルブをイオンガン本体に移したので、よりイオン電流が稼げると思ったが、実際は、6×10-6Torr程度のAr圧の時、1.5kVの加速電圧で0.3μA程度で、これまでとほとんど変わらないか、むしろ小さくなってしまった。

また、EB加熱ステージを蒸着の際の基板加熱に用いるため、蒸着物を防ぐマスクを新たにつけたのだが、ここからデガスしたようで、アニール時に真空度が10-8Torr台まで悪くなった。そのため、再度、スパッタ、アニールを繰り返した。2回目のアニール時の真空は一番悪い時で1.7×10-9Torr程度だった。

その後、アプローチを開始した。探針、試料間の容量と粗動機構のステップ数をこれまでと比較すると、若干動きが悪くなってきているが、問題になるほどではない。

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