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2012年5月31日 (木)

実験準備

先が飛んでしまった探針は、約5kVまでFIM像が見えなかった。チャンバー内にあと2本新しい探針が残っていたが、どちらもやはり5kV程度までFIM像が見えず、断念した。

全ての探針を取り出し、新たに5本の探針をセットした。100Vで7時間ベーキング。また、探針を作っている間に、金のスパッタ1.5kV/0.4μA/1時間、アニール約700℃/15分を1サイクル行った。

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