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2012年4月17日 (火)

ベーキング

一晩の真空排気で導入室の真空度が1×10-7程度と正常なので、IVCをインジウムシールし、ベーキングを開始した。このところ1ヶ月に1度程度ベーキングしているので、大気に2週間晒してしまった半年前と違い、チャンバーは良く枯れてきている。

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