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2012年4月16日 (月)

トラブルシューティング(解決編)

Z_offsetやFB_Zとトンネル電流信号との異常なカップリングの問題は、原因がわからず、もはや、スキャナー本体の交換しかないと覚悟を決めた。しかし、組み立てに必要なEpotek H74が古くなってしまっており、新品は納期2週間とのことで、すぐには組み立てできない。共同研究先に予備のスキャナーがあることを思い出し、借用できないかお願いしたところ、快く送って頂けた。

Z_offsetやFB_Zのワイヤーをスキャナーのすぐ手前で外すと異常なカップリングはなくなったこと、先週金曜日には探針ホルダーをスキャナーから外した状態でも症状が現れるようになったことから、スキャナー本体の問題であることには一応確信があったが、容量、絶縁性、外観、いずれも全く正常であったので、正直、交換後どうなるか不安だった。幸い、交換後はZ_offsetやFB_Zとの異常なカップリングはなくなり、正常にフィードバックがかかり、自動アプローチが可能なことを確認した。

動作不良となったスキャナーは2008年5月3日に交換したもので、ほぼ4年間使い続けたものである。これ以前は、探針ホルダーをねじ込むスキャナー側の雌ネジがベリリウム銅製で、H74やアルミナとの熱膨張の違いが大きかったこと、はめあい部に隙間ができてしまう可能性のある設計だったことから、数10回探針を交換する度に壊してしまっていた。今回、動作不良になったスキャナーは、雌ネジの材質をチタンに変更し、はめあいの設計をやり直したもので、200回程度探針交換を行ったものである。外観等には異状ないものの、どこかに何らかのクラック等が発生していたのかもしれない。ただし、測定できる範囲のパラメータには全く異常がないのが不思議である。今後同じ現象が起きたら、遅滞なくスキャナーを交換できるように予備を用意するつもりだが、原因も何とかして特定したい。

UHV缶のインジウムシールを行い、ターボポンプでの真空排気を開始した。

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