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2012年4月12日 (木)

トラブルシューティング

電子ビームステージの絶縁不良は、昨日放電していた銅製の圧着端子周辺のアルミナが黒くなっていることが分かった。この部分は加熱部がねじ込まれるタンタルの部品にねじ止めされているので高温になり、アルミナの絶縁板に銅が蒸着されてしまったものと考えられる。アルミナ板を清掃したのち、圧着端子をタンタル板で作製し交換した。

STMのトラブルは深刻である。ユニットを取り出してみたが、特に異常は見当たらず、絶縁やピエゾの電気容量も正常であった。分解清掃を行い、再組立を行ったが、やはり全く同じ症状で、探針をSTMにセットすると、異常に大きな干渉がZ_offsetとFB_Zとの間に起こってしまい、フィードバックが発振してしまう。

探針をセットしなければ一応正常に動作する。不思議なことに、トンネル電流のノイズスペクトルは、探針をセットした時も(異常動作)しないとき(正常動作)でも変化がない。

正直、お手上げである。あとできることといえば、スキャナー自体の交換である。予備が無いので、作らねばならない。

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