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2012年3月

2012年3月 7日 (水)

メンテナンス(その2)

昨日、リークテスト後にチャンバーをベントし、ユニットの分解清掃を行った。また、念のため、3Heポットと端子板の間のインジウムシールをやり直した。

ユニット清掃後の組み立て途中に温度計につながるワイヤーを切ってしまうというミスを犯したが、幸いすぐ修理できた。

本日、リークテストを行い、無事リークは無かったのでベーキングを開始した。

2012年3月 5日 (月)

メンテナンス(その1)

出張から帰ってきたので、早速リークの修理を行った。とはいえ、場所が特定できないので、怪しいところを全てやり直すという、原始的だが効果的な方法をとることにする。

漏れているガスは空気であったので、最も怪しいのは、ゲートバルブ下のガスケットである。ゲートバルブの真上は、試料その他のネジの付け外しを頻繁に行う所なので、金属のカスで汚れているはずであるので、これを機にゲートバルブも清掃することにした。バルブ内にエタノールを入れた状態で両側をブランクフランジで閉じ、超音波洗浄をかけ、清掃を行った。

組み付け後、4×10-7 Torr程度ではリークディテクタで検出可能なリークは無かった。その後、ガスケット交換により若干チャンバーの高さが変わったので、微調整を行った。明朝もう一度リークテストを行い、低温部のインジウムシール交換とユニットの清掃を行う。

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